传感器
激光微射流®配合的传感器技术用于加工过程控制（工业4.0）
SYNOVA公司开发了先进的传感器技术来持续改善加工工艺改进，可以实现更好的LMJ®加工的过程控制并提高加工效率。 这些工业自动化传感器使LMJ®成为一种真正强大的制造技术。
⦁ 传感器技术
1.自动激光功率测量
测量用于加工的实际激光功率
2.自动射流定位传感器
激光微水射流在机器坐标下的
高精度定位
3.自动激光喷嘴对准
可靠和快速的对准激光进入喷嘴
4.工件自动对齐
工件在机床坐标系中的定位和定向
（X-Y-Z 位置和倾斜角度）
5.自动喷射角度修正
测量喷射角度后，加工头的电动旋转允许对其进行校正
6.自动射流稳定控制
检测喷嘴磨损和断裂
7.自动突破检测
检测LMJ®切割或钻穿结束，以减少非加工时间
8.自动触摸探测
探头精确的3D校准工件与机器坐标
9.自动激光脉冲监测
监控激光功率和脉冲长度
10.自动数据记录
关键参数记录，实现高效远程协助
⦁ 增强的加工过程控制
1.气体保护的微水射流
长距离稳定喷水
2.薄水膜
实现干净的晶圆加工，无重铸层或灰尘
3.高功率稳定
喷嘴保护，在加工过程中防止水和颗粒的反溅
4.喷射保护系统
在严苛的加工环境中稳定射流
5.3D加工光头
允许最大程度地接近3D零件和进行远程对准
6.微型耦合单元
提高微水射流的稳定性和进行简单的维修
7.激光胶带
稳固固定要加工的晶圆(晶圆的精密划片/切割)
8.LMJ喷嘴
实现具有高稳定性的长层流
9.切割策略
用于切割低吸收材料的最佳加工策略实施，例如蓝宝石
10.双激光
使用两套不同脉冲持续时间的激光器以实现切割表面很低的粗糙度水平
